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首页 > 产品展示 > 日本神视SUNX > 神视SUNX传感器 > SD3-CP-C10经济实用的神视SUNX晶圆定位传感器

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经济实用的神视SUNX晶圆定位传感器

  • 浏 览 量:134SD3-CP-C10
  • 时   间:2019-05-21
  • 城   市:上海市

经济实用的神视SUNX晶圆定位传感器
反应时间500μs以下
工作状态指示灯橙色LED(输出ON时亮起)
稳定指示灯绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
定时器功能装备约2ms固定断开延迟定时器 有效/无效切换式

经济实用的神视SUNX晶圆定位传感器

特点应用:

而LED光源的光具有一定波长段,即使氮化膜晶圆也可准确检测。

0.5ms的高速反应

实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。

基于2段受光元件的高精度位置检测

利用反射光量检测时,反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。

M-DW1的受光部使用2段受光元件,通过反射光位置而非反射光量进行检测。因此,受晶圆厚度和反射光量的影响较小。

中心测量距离 45mm

检测物体 3英寸以上的半导体晶圆(注2)

可对应检测面 有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)

检测角度 12.5±5°(注4)

晶圆间距 间距3mm以上时,可按通常灵敏度进行分离检测(注5)

适用晶圆盒 SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒

电源电压 12〜24V DC±10% 脉动P-P10%以下

M-DW1以反射光的位置来检测,不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。

亦可检测玻璃晶圆

可检测涂氮晶圆

氮化膜具有可吸收特定波长光的性质,吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。

因此,对于使用单波长激光的传感器,可能会因光全被吸收而无法检测。

产品型号:

宝德 

压力表 00444504,PRESS:8311,4-20MA,12-30V,0-20bar     

球阀 00226498,VL-521T,1/2",225192    

球阀 00226502,VL-521T,2",225196 

 

Ross

W6476B3401  ROSS

气动换向阀  2776B6011

三位五通电磁阀 W7077C6331-ROSS带24DC电磁线圈

二位三通换向阀 2774B9001-ROSS常开式

带DC24V电磁线圈 ROSS 1个

二位三通换向阀 2773B9001-ROSS带DC24控制线圈

经济实用的神视SUNX晶圆定位传感器

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