喜开理产品介绍：CKD小型流量传感器

喜开理产品介绍：CKD小型流量传感器

产品型号;FSM2-PAR102-A153BT

产品介绍：CKD小型流量感测器

产品型号;FSM2-PAR102-A153BT

产品资料

满足客户需求

充实产品阵容

吸收FSM系列的并实现了更大的进步。

继承了优异的应答性，量程扩大到了1000L/min。

采用双画面和双色显示，并搭载自动参考功能，操作便利性大幅度提高。

此外，实现了双向测量，注入了新价值。

流量量程增大

保持大流量，结构小型化

实现双向流体测量

精度提高 不超过±3%FS

在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加

了2、200、500、1000 L/min四个类型。

双画面显示和双色显示功能

流量栏表示功能

自动参考功能

高速应答 不超过50msec

利用表示一体型设计，通过设置主画面和辅助画面，提高了操作

的灵活性。

而且，利用双色显示，发生异常时一看便知。

在表示分离型中，通过流量栏表示，可以一目了然地掌握目标流

量。

通过按钮操作或者外部输入，可以自动获取开关输出的设定值。

*避免了繁琐的设定过程。

通过采用了硅微细加工技术白金感测器小片，实现了高速应答。

有助于缩短间隔时间。

流量量程为500、1000 L/min这两个类型，是以往体积的30%。

实现了屈一指的小型化。

有助于设备的小型化、轻量化。

表示一体型、双向型可以任意设置流向进行测量。

管线安装的自由程度得到了很大提高，同时还可以用来探测逆流。

精度达到了±3%FS，实现了更为准确的流量测量。

FSM系列

FSM2系列

是以往体积的

30%

（1000 L/min类型）

详情请参阅P29

正方向 双向 反方向

详情请参阅P25

详情请参阅P25

详情请参阅P28

流量栏表示

流量单位

主画面（显示瞬时流量）

<双色显示>

辅助画面（流向等）

机型种类 尺寸

超小型、轻量 高速应答 开关输出 模拟输出 大流量型

反方向

双向

正方向

分离型 一体型

主体材质

保持感测器，实现防范故障于未然。

页码

目录No.

页码

应答速度 显示器 材质 输出方式 流向探测 流量量程

丰富的FSM系列

备有小型流量感测器超小型管道式过滤器

技术资料

用途示例、系列体系见下页

满足客户需求

充实产品阵容

满足客户需求

充实产品阵容

吸收FSM系列的并实现了更大的进步。

继承了优异的应答性，量程扩大到了1000L/min。

采用双画面和双色显示，并搭载自动参考功能，操作便利性大幅度提高。

此外，实现了双向测量，注入了新价值。

流量量程增大

保持大流量，结构小型化

实现双向流体测量

精度提高 不超过±3%FS

在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加

了2、200、500、1000 L/min四个类型。

双画面显示和双色显示功能

流量栏表示功能

自动参考功能

高速应答 不超过50msec

利用表示一体型设计，通过设置主画面和辅助画面，提高了操作

的灵活性。

而且，利用双色显示，发生异常时一看便知。

在表示分离型中，通过流量栏表示，可以一目了然地掌握目标流

量。

通过按钮操作或者外部输入，可以自动获取开关输出的设定值。

*避免了繁琐的设定过程。

通过采用了硅微细加工技术白金感测器小片，实现了高速应答。

有助于缩短间隔时间。

流量量程为500、1000 L/min这两个类型，是以往体积的30%。

实现了屈一指的小型化。

有助于设备的小型化、轻量化。

表示一体型、双向型可以任意设置流向进行测量。

管线安装的自由程度得到了很大提高，同时还可以用来探测逆流。

精度达到了±3%FS，实现了更为准确的流量测量。

FSM系列

FSM2系列

是以往体积的

30%

（1000 L/min类型）

详情请参阅P29

正方向 双向 反方向

流量单位

主画面（显示瞬时流量）

<双色显示>

辅助画面（流向等）

机型种类 尺寸

超小型、轻量 高速应答 开关输出 模拟输出 大流量型

反方向

双向

正方向

分离型 一体型

主体材质

保持感测器，实现防范故障于未然。

页码

目录No.

页码

应答速度 显示器 材质 输出方式 流向探测 流量量程

丰富的FSM系列

备有小型流量感测器超小型管道式过滤器

技术资料

用途示例、系列体系见下页

开关输出2点 NPN/PNP

模拟输出1点

模拟输出1点

空气、氮气用 氩、碳酸气用

主体材质

连接口径

实际比例流量

表示一体型 表示分离型

流向

双向或单向

（根据形式选择，双向型可以通过按钮操作选择流向）

双向或单向

（根据形式选择）

模拟输出1点

1-5V或4-20mA（根据形式选择）

开关输出2点

NPN或PNP输出（根据形式选择）

模拟输出1点

1-5V或4-20mA（根据形式选择）

输出形式

树脂主体

不锈钢主体

单向 双向 单向 双向

表示一体型表示分离型

小型流量感测器用途示例 小型流量感测器系列体系

应用于各种域中

小型流量感测器可以用在机械、汽车、计量仪器、精密仪器等域和半导体、

生物等*域以及医疗、食品域等上，用途非常广泛多样。

适用流体

感测器的用途

各种泄露检查

针孔检查

离子化器的吹扫气体确认

焊接气体的管理

吹扫气体的流量管理

落座确认

吸附确认

可以直接测量泄露流

量。即便是微压，由于

输出与针孔成正比，

因此也可以用来判断

有否故障、确认状态

情况。

可处理的流量量程大。

内嵌速控器型（特别订购品）可

以轻松对流量进行控制。

可处理的流量量程大。

①与压力感测器不相上下的高速应答（应答由管线的内容积、压力等决定）

②由于是通过流量探测的，因此不存在因压力的变化而引起的调节、误检情形。

③可以探测出喷嘴或过滤器的孔口堵塞。

④通过流量探测，可以有效管理倾斜吸附等吸附错误。

利用压力感测器时有时差压过小而无法判别，此

时根据流量可以准确地进行判别。

激光激发器、半导体制造装置的N2气体管理

处置的流量量程大。

内嵌速控器型（特别订购品）可以

轻松对流量进行控制。

危险

 请勿用于易燃性流体。

关于使用流体

注意

使用不受温度、压力影响的流量测定本产品的

流量。单位为L/min。该单位为将流量换算为

在20℃ 1气压(101kPa)的体积流量时的标记单位。



警告

不能作为商用仪表使用。

不适用于计量法，因此请不要用于商业交易。请作

为工业用感测器使用。

除适用流体之外的流体由于不能其精度，因此

请不要使用。

压缩机输出的压缩空气内含有污物(水、氧化油、异

物等)，因此请在感测器的一次端(上端部)安装过滤

器、空气干燥器及油雾过滤器(细油微粒过滤器)后

使用。此外，感测器内的网眼(金属网)用于调整配

管中的流量，并不是用于除去异物的过滤器，因此

请务必设置过滤器。

＜回路＞

压力源 空气干燥器 过滤器 调压阀 油雾

过滤器

(细油微粒过滤器)

流量感测器

FSM系列

感测器的一次端使用阀时，请使用禁油规格的阀。

否则，可能因润滑油、油等飞溅造成感测器失灵或

破损。

使用碳酸气等液化气体时，请务必气化后使用。因

为液化的气体进入本产品可能导致产品故障。

危险

关于使用环境

防性环境

严禁在性气体环境中使用。由于本产品没有设

置防爆结构，因此可能引起导致火灾。

警告

腐蚀性环境

请不要在亚硫酸气体等腐蚀性气体环境中使用。

周围温度、流体温度

使用本产品的周围温度、流体温度为0～50℃范围

内。

此外，在由于周围温度、流体温度急剧变化产生结

露的地方，即使温度范围属于规定值，也请不要使

用本产品。

zui高使用压力和使用流量量程

超过zui高使用压力或非使用流量量程使用本产品时

可能导致本产品故障，因此请在规格范围内使用。

防滴漏环境

本产品的保护结构相当于IP40。请不要设置在存

在加压、减压的环境或出现水分、盐分、尘埃及屑

末的场所。在温度变化剧烈的场所或湿度高的环境

中，本产品可能因主体内部产生结露产生故障，因

此不能在这样的环境中使用

喜开理产品介绍：CKD小型流量传感器